Monitoring
Monitoring adalah suatu proses untuk mengetahui pekaksanaan program yang sedang berjalan. monitoring dapat membantu meningkatkan kualitas program dan mengidentifikasi masalah-masalah yang harus diatasi untuk mencapai tujuan program.
Peraturan pemerintah nomer 39 Tahun 2006, disebutkan bahwa monitoring merupakan kegiatan mengamati secara seksama suatu keadaan atau kondisi, termasuk perilaku atau kegiatan tertentu, dengan tujuan agar semua data masukan atau informasi yang diperoleh dari hasil pengamatan tersebut.
Pengawasan
Pada pengawasan pelayanan publik merupakan suatu bagian penting dalam mewujudkan praktik pembangunan yang bersih dan akuntable melalui pencegahan malaadministrasi dan penyelasaian aduan masyarakat.
Evaluasi
Evaluasi pada pelayanan publik adalah rangkaian kegiatan membandingkan relasi masukan (input), keluaran (output) dan hasil (outcome), terhadap rencana dan standar